（晶圆撕膜机） 晶圆膜去除专用设备FHX-MTS

一、产品概述

本机为自行研制的手动撕膜机（型号为FHX-MTS系列），尺寸分别为 6寸、 8寸、 12寸等

（可定制），晶圆、 LED 撕膜使用。本机主要特点：

主体部分为不锈钢、铝合金制作，质量可靠，性能稳定；

可把 3”~12” 晶片在反研磨或蚀刻工艺贴膜去除。

操作简单，易懂易会；

本机外表美观、坚固可靠、性能优越、价格实惠，能为广大客户大大提高生产效率。

东莞芳汇鑫科技技术有限公司

1- 工作台盘

2/3/4-12寸 /8寸 /6寸真空开关 : 按下吸附台盘晶片使其牢固；按下开关，开关上红灯长亮，此时真空功能开启。再按一次，开关上红灯熄灭，真空功能关闭；

温控器：打开此开关可把机器的台盘加热，按下开关，开关上绿灯长亮，此时加热功能开启。再按一次，开关上绿灯熄灭，加热功能关闭；

离子风扇 : 去静电

精密调压阀：精确调节气压大小

AC 插头：接电插口

电源开关：按下“○”关闭电源，按下“－”开启电源

进气接口：接气接口

东莞方汇鑫科技技术有限公司

1   技术规格